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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的长处是启动快，能抗各种射线的照耀，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气净化或净化很少，能取得清洁的超高真空。涡轮分子泵宽泛用于高能加速器、可控热核反应安装、重粒子加速器以及真空镀膜等须要取得高真空度制作工艺中。
涡轮分子泵的工作原理，构造型式及其优缺点。
为了利用涡轮分子泵，取得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，形成无油的真空零碎。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，形成了有油真空零碎，如果操作不当，很难防止油蒸汽返流，对真空零碎的净化。利用有油零碎取得清洁真空，国内外都有一些无效避免返流的措施和胜利的操作教训。
利用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地利用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束内涵、离子加工等设施都须要在真空环境下运行。又如电子显微镜，外表分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也常常应用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模仿设施、核聚变安装、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵零碎，以避免油蒸汽的净化。因而，最近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都失去了显着的改良和倒退。在涡轮分子泵的利用日益减少干式的前级泵还没有大量遍及和利用的状况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因而，针对这种现状，对涡轮分子泵的正当选用和正确操作是很重要的。
分子泵常见的故障问题：
1、分子泵为何会产生半边热，半边冷的景象？
2、分子泵应用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？
3、分子泵在运行过程中，呈现频率从失常降落至肯定频率后又复原到失常，之后又降落至肯定频率，再复原到失常，反反复复，更换电源后景象仍如此，请问该景象如何解释？
4、分子泵轴承为什么会烧毁
5、有防护网爱护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？
6、真空度很好的状况下，分子泵油为何会返到前级管道？
7、失常应用下，为什么分子泵油池会呈现裂纹或者变形？
8、分子泵中常常掉出顶丝、镙钉等物体，如 M5 的顶丝等，请问是否对分子泵的应用有影响？应如何解决？
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，应用才平安？
10、变频器电源在什么状况下会造成程序失落或者错乱？
11、分子泵乐音大如何界定？是否有合格规范，是多少？
12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷须要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会呈现何结果？
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是最佳形式？
14、变频器电源，转速回升过程中就自动关机，即显示“Poff”？
15、分子泵叶片破碎的起因？
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